사업소개

부품사업

CVD SiC는 화학기상증착 (CVD, Chemical Vapor Deposition) 공법을 사용하여 SiC를 증착시키는 기술입니다.
당사는 지난 수년 간 축적시킨 CVD SiC 증착 기술을 활용하여 박막층착에서부터 수mm 이상의 두꺼운 Bulk 형태로
증착시킬 수 있는 기술을 개발하여 안정적인 생산 공정을 확보했습니다.

실리콘 & 세라믹 Compoents

당사는 반도체 공정에서 필수적인 실리콘과 세라믹 기반의 다양한 부품을 제공합니다. 실리콘(Si), 쿼츠(Quartz), 알루미나(Al₂O₃) 같은 고성능 소재는 각기 다른 공정 환경에서 최적의 성능을 발휘하여, 반도체 제조 공정의 안정성과 효율성을 높입니다. 이들 부품은 고온, 고순도, 내화학성이 중요한 반도체 공정에 적합하며, 공정 장비의 신뢰성을 높이는 데 중요한 역할을 합니다.

제품 종류

  • 01
    실리콘 (Si)
    저희 회사는 반도체 제조 공정에 사용되는 고성능 실리콘 부품을 개발하고 있습니다. 주요 제품으로는 실리콘 전극(Electrode)과 Si Focus Ring이 있으며, 이 부품들은 반도체 공정에서 정밀성과 안정성을 유지하는 데 필수적인 역할을 합니다. 실리콘은 우수한 전기적 특성, 고온 내성, 내구성을 제공하여 가혹한 환경에서도 탁월한 성능을 발휘합니다. 그동안 축적된 노하우를 바탕으로 제조 기술을 고도화하여 반도체 공정에 최적화된 고품질 실리콘 부품을 제공하고 있습니다. 이를 통해 고객에게 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하며, 반도체 산업의 다양한 요구에 부응하고 있습니다.
  • 02
    쿼츠 (Quartz)
    쿼츠는고순도와 내열성을 특징으로, 고온에서 안정적으로 작동하며, 자외선(UV) 투과성이 우수하여 반도체 공정에서 주로 CVD 공정용 부품과 노광 장치 등에 사용됩니다. 화학적 안정성도 뛰어나 부식이 발생하는 환경에도 적합합니다.
  • 03
    알루미나 (Al₂O₃)
    알루미나는 내열성과 내마모성이 매우 뛰어나, 반도체 제조 공정에서 고온 및 고압 환경에 적합한 부품입니다. 에칭 공정, 플라즈마 공정에서 요구되는 강도와 내구성을 제공하며, 내화학성도 우수하여 다양한 공정에 활용됩니다.

Contact

  • Contact Person
    이창민 팀장
  • Tel
    070-7201-8963
  • Email
    changmin.lee@knj.kr