실리콘 & 세라믹 Compoents
당사는 반도체 공정에서 필수적인 실리콘과 세라믹 기반의 다양한 부품을 제공합니다. 실리콘(Si), 쿼츠(Quartz), 알루미나(Al₂O₃) 같은 고성능 소재는 각기 다른 공정 환경에서 최적의 성능을 발휘하여, 반도체 제조 공정의 안정성과 효율성을 높입니다. 이들 부품은 고온, 고순도, 내화학성이 중요한 반도체 공정에 적합하며, 공정 장비의 신뢰성을 높이는 데 중요한 역할을 합니다.
사업소개
CVD SiC는 화학기상증착 (CVD, Chemical Vapor Deposition) 공법을 사용하여 SiC를 증착시키는 기술입니다.
당사는 지난 수년 간 축적시킨 CVD SiC 증착 기술을 활용하여 박막층착에서부터 수mm 이상의 두꺼운 Bulk 형태로
증착시킬 수 있는 기술을 개발하여 안정적인 생산 공정을 확보했습니다.
당사는 반도체 공정에서 필수적인 실리콘과 세라믹 기반의 다양한 부품을 제공합니다. 실리콘(Si), 쿼츠(Quartz), 알루미나(Al₂O₃) 같은 고성능 소재는 각기 다른 공정 환경에서 최적의 성능을 발휘하여, 반도체 제조 공정의 안정성과 효율성을 높입니다. 이들 부품은 고온, 고순도, 내화학성이 중요한 반도체 공정에 적합하며, 공정 장비의 신뢰성을 높이는 데 중요한 역할을 합니다.