玻璃基板研磨机

• 对原玻璃(Bare Glass)，液晶显示器(LCD)，有机发光显示器(OLED)等使用玻璃类的基板，加工外围，研磨边角，以预防进行性破损的设备。

玻璃基板检测机

• 在加工分段(Scribe) 或者研磨等基板玻璃的工程前后, 测定相关精度并且在加工部位或者移送之间自动判别有无破损的设备。

其他自动化设备

• 液晶显示器(LCD)、有机发光显示器(OLED)、微型有机发光显示器(Micro LED)等玻璃基板为材料产品的加工及物流自动化设备。

SiC Coated products

• 采用CVD工艺生产的产品, 为抑制原材料的Out Gassing及particle的产生，采用SiC薄膜涂层处理的配件.

• High purity

• Usable under oxidation atmosphere

• High Chemical Resistance

• Stable in high temperature

Bulk CVD SiC products

• 采用CVD工艺生产的产品，用于为改进半导体装备的工艺收率的功能性配件.

• High corrosion resistance

• Long lifetime compared with Si

• No outgassing

• No heat deformation