유리기판 연마기

• 원판(Bare Glass), LCD 또는 OLED 등 유리를 사용하는 기판의 외곽 Edge를 가공하고 코너를 연마하여 진행성 파손을 방지하는 설비

유리기판 검사기

• 분단(Scribe) 또는 연마등 기판유리를 가공하는 공정 전후에 치수 정밀도를 측정하고 가공부위 또는 이송간 손상여부를 자동판별하기 위한 설비

기타 자동화 설비

• LCD, OLED 및 Micro LED 등 유리기판을 소재로 하는 제품의 가공, 물류 자동화 설비
   

SiC Coated products

• CVD 공법으로 생산되는 제품으로 원소재의 Out Gassing 및 particle 발생을 억제하기 위해 SiC 박막코팅 처리를 한 부품.

• High purity

• Usable under oxidation atmosphere

• High Chemical Resistance

• Stable in high temperature

Bulk CVD SiC products

• CVD 공법으로 생산되는 제품으로 반도체 장비의 공정 수율 개선을 위한 기능성 부품으로 사용.

• High corrosion resistance

• Long lifetime compared with Si

• No outgassing

• No heat deformation